MFC / MFM, LFC/LFM og proportionalventiler

Masseflow under kontrol

Masseflowmåling for luftarter er uafhængig af temperatur og tryk. Derved kan målingen af procesgas ske på en stabil og reproducérbar måde. Masseflowcontrollere indeholder en PID-regulator og en reguleringsventil og kan kommunikere via et normsignal eller feltbus. Masseflowmålere har ingen ventil og kan kun anvendes til måling af gennemstrømning (masseflow).



Magnetstyrede proportionalventiler

Reguleringsventiler kan aktueres af pneumatiske, motordrevne, piezoelektrisk eller magnetiske aktuatorer. De vigtigste forskelle mellem de forskellige aktuator-principper er medieadskillelsesmåde, dynamik og effekt. Magnetstyrede reguleringsventiler er i praksis kendt som proportionalventiler og dækker området under  Ø 25 mm (1"). Åbne og lukkede reguleringssløjfer kan skabes ved brug af proportionalventiler. Åbne reguleringssløjfer regulerer ventilen uden feedback signal, mens lukkede reguleringssløjfer regulerer forskellen mellem  set-punktet og aktuelle værdier med et feedback signal, f.eks. en flowsensor. Magnetventiler, som er normalt lukkede, danner grundlag for Bürkerts proportionalventiler. Direkte-virkende proportionalventiler har tryktilgangen under sædet, mens servo-styrede modeller har trykket over sædet.